· 微纳米操纵仪

  • 全闭环设计四自由度微纳米操纵仪MM3E

    XYZR四轴全闭环设计,XYZ恢复精度2微米,R,恢复精度0.02度

  • 显微加热台

    显微加热台是专门为在加热样品的同时操纵样品而生产的一款加热台。它的特点是非常小巧及温度分辨率高,可达0.1度。它的大小和SEM样品台一样,因此安装使用非常方便。

  • PS系列微纳米操纵仪

    为空气锁电镜特别设计的PS系列微纳米操纵仪采用新一代MM4操纵仪,特别是为半导体设计的PW系列具有更高的稳定性和成套专业进行电流测量的软件,为客户提供了更高效稳定地的选择。

  • 微纳米操纵仪MM3A系列

    MM3A系列微纳米操纵仪包括MM3A-EM,MM3A-LMP,MM3A-LS

    及新出操纵仪产品MM3E-

  • E5AT 压电陶瓷五轴台

     E5AT五轴台

  • 气体微注入电子束诱导沉积插件

    在热储管中加入气液固体,气液化物在电子束诱导下沉积,实现电子束诱导沉积的功能

  • 微镊子

    增强操纵功能最大开口为20微米,步进0.5纳米

  • 绕臂旋转功能插件

    提供360度无限绕臂旋转功能

  • 微弱电流测量屏蔽套装置

    直接从微纳米操纵仪探针尖端引出到电镜外的一条屏蔽线,可直接连接专业的电流测试设备

  • 微弱力测量装置

    利用接触压阻值的变化来进行纳微牛级力的测量

  • LT系列高精度三轴移动平台

    德国KleindiekNanotechnik生产的LT系列高精度三轴纳米显微线性平台是在压电陶瓷马达基础上构建的产品,可选XY轴或XYZ轴移动(或,能够达到0.5nm/步的步进精度和厘米级的移动范围,线性移动无后座力、漂移量小于1nm/min,整个操纵全部由压电陶瓷马达驱动。整个装置体积非常小,可以方便地放入SEM、FIB、EPMA腔室内,也可以搭载在光学显微镜或共聚焦显微镜平台上。纳米显微线性平台可以安装的环境包括大气环境、真空环境、超高真空环境及液氮低温环境等。

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