气体微注入电子束诱导沉积插件

气体微注入电子束诱导沉积插件

MM3A微纳米操纵仪开发的GIS-EM插件是岂今为止市场上最小型的气体注入系统。这款独特的插件工具是由一个带有温控功能的热储管,一个由纳米马达精确控制的定量阀和一个可以用微纳米操纵仪精确定位到感兴趣区域的喷嘴组成。

喷嘴头倾斜成最佳的气流几何角度并且在其顶部配有一个光阑,它可以将电子束的辐照限定在感兴趣的区域。充填热储管可以通过简单地移开它的管盖来实现并引入需要的前驱物。典型的材料是:水、已烷,萘,六羰基钨或碘。前驱物可能要加热到900来气化。使用定量阀精确控制,注入电镜腔体的气体量可以精确调节。

更换带有进口管盖帽可以引入气态前驱物如氩、氧。

 

应用

 

沉积金属或碳结构

原子层沉积

荷电补偿

 

技术参数

热储管容量:0.5 cm3

 

最高温度:900


2018年03月05日

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