MM3A微纳米操纵机械手
微纳米操纵仪MM3A是德国Kleindiek Nanotechnik 生产的一种高精度易操纵用于各种显微镜设备下的一种微纳米样品操纵设备。目前主要型号分为：MM3A-EM，MM3A-LMP和MM3A-LS三种型号。
MM3A-EM型号是专门设计用于扫描电子显微镜及双束FIB以及各种真空 环境下的微纳米操纵仪，它可安装在现有的各种扫描电镜及FIB环境下，是一款不用改造电镜样品台且安装灵活使用简便的微操纵系统，其上可以搭载如力学测量探头，微镊子、显微焊接功能插件、GIS（气体电子束诱导沉积插件）、LCMK(弱电流测量屏蔽插件）等等多项扩展功能插件，是一个集各种科学研究不可多得的平台产品。MM3A-EM也可用于各种显微镜下工作，可以和共聚焦显微镜联用。MM3A外接Keithley或Agilent的专业的电流测量设备 后可以测量微纳米材料的电学性能，低至1
MM3A-LMP是MM3A家族中的另一款型号，专门设计用于各类显微镜下的产品，它除了不能用于真空及电子显微镜下外，其它功能与MM3A-EM相同。
MM3A-LS是MM3A家族中为生命科学研究单独设计的，其后端及前端与膜片钳联用可以进行膜电压的测量。
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Diameter 操纵仪最大直径 |
22mm |
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Length 操纵仪长度 |
60mm |
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Weight 重量 |
30g |
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Operating range 操作范围 |
Z:12mm,X and Y: 240º |
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Resolution 最高分辨率 |
Z:0.5nm,X and Y:5nm |
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Speed 操作速度 |
>10mm/s along X and Y |
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Rotation Resolution 倾转分辨率 |
10-7 rad per step |
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Tip 探针座(适合0.5mm的探针) |
Tip holder for prober tips with shaft diameter of 0.5 mm |
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Control 控制器,遥控器或PC软件控制 |
Manual, via PC or Joystick |
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Voltage add on the tip 针尖最大可加电压 |
Max 100V |
MM3E -EM闭环设计微纳米操纵仪 微纳米操纵仪的基础上，结合闭环位置反馈， MM3E 具有同样的紧凑性、精度和稳定性。 这种改进进一步加强了微纳米操纵仪系统易 用性(例如，定义停靠位置和工作位置，并通过点击一下按钮来到达)。
MM3E 与市场上几乎所有的 SEM或 FIB / SEM 都完全兼容。 它有一个直观的，拖放式的控制软件，提供 了一个简单的方式，在SEM 或 FIB / SEM中三维定位 的工具尖端位置。 该软件执行坐标转换，让mm3e 表现为一个笛卡尔系统， 具有几微米的可重复性。 通过可选的轴向闭环旋转驱 动，样品可以在样品附近进行整体旋转。 给你的显微镜一只手: 使用 MM3E 为你的仪器增加新的 功能和性能。
更加紧凑和灵活 占用空间小，以笛卡尔方式使用非笛卡尔坐标轴 即插即用系统，带有模块化组件和一系列插件工具为大多数 SEM / FIB 工具提供接口解决方案。
快速安装
多个微纳米操纵机械手一起轻松工作 面向结果的操作，提高效率
直观的软件控制界面 方便使用，易于学习
更换探针简捷方便，无需腔室放气
简单清晰 紧凑的结构可以提供更高的响应频率
优异的稳定性 可靠的运行(一年的耐久性试验) 几乎不受震动的影响
手动快速预定位 工作范围广(100立方厘米) 精移、粗移一次驱动
技术规格：
辨率 xy ~ 5nm
分辨率 Z<0.5nm
轴向分辨率 r 5e-6弧度
恢复精度XYZ<2微米
轴向恢复精度<0.02度
漂移 < 1nm/min
旋转同心度~ 30微米
