LOS TEM电镜样品提取专用工具

原位提取(inlo)技术已经成为制备需要透射电镜和原子探针检测的样品的更可靠的方法。然而，尽管它们最近很受欢迎，但它们仍然被认为比非原位取出技术昂贵得多，而且需要花费大量宝贵的时间在FIB上。时间和成本因素要求一个更快，更简单的过程，减少了技术的可靠性。提取专用工具LOS是 kleindiek nanotechnik 对这个问题的回答: 一个简单而有效的工具，提供了降低成本，增加样品吞吐量，减少 fib 时间且结果可靠。

原位提取包括三个基本步骤:

与预切样品进行物理接触。

将预切好的样品从周围的大块材料中取出。

将样品固定在一个支架上(例如一个TEM铜网栅格上) ，以便进一步分析。

TEM样品提取专用工具套配有有一个微镊子，用来接触样品。通过扫描电镜台将微镊子放置在扫描电镜图像中。专用工具套还包含一个 x，y，z 三轴超精细移动的样品子台，样品子台做笛卡尔运动。子台用于操纵样品: 当样品移动到样品下方时，微镊子保持静止。这种方法，再加上笛卡尔运动的优势，提供了一种更直观的方式，使得二维图像在三维空间操纵物体。此外，该系统可以在样品表面高度包括一个小型的 CCD摄像机，给你提供样品和微镊子之间的即时的信息。这增加了缺失的三维信息，使垂直方向接近样本更加容易和快速。当使用微镊子时，我们不再需要依赖于使用单一探针尖时必须使用的耗时的离子束诱导沉积(IBID)方法。样品被微镊子牢牢地夹住，不会造成破坏。避免了样品的污染，样品的释放过程直观、快速。

粘附样品

一旦样品已从块体中取出，子台用来将TEM梳状栅网定位于样品之下。在样品所连接的栅网部分放置少量高真空兼容胶粘剂。样本会和粘接剂接触。然后在电子束照射下通过聚焦在一个非常小的区域硬化粘接剂。固化时间快，产生良好的结合。如果气体前体可用，也可以使用同类离子术沉积技术来实现粘附样品，但使用高真空胶可以更快、更具成本效益并且不会污染样本。离子束切割分离样品是不需要的，因此整形，清洗或更换微镊子是不必要的。

此外，即使是不使用此套专用设备抽取TEM样品时，此套设备也可以作为一个高精度样品子台来使用，其步进精度X、Y、Z均优于0.5nm。移动范围，XY约10mm，Z大于3mm.

因此，是一款超值设备。

EM grid holder

Easily accessible clip mechanism

Quick and easy ex-situ preparation

Substage

Cartesian movement

Travel XY 10 mm

Travel Z 3 mm

Travel R 360° (unlimited)

Speed up to 1 mm/s

Resolution XYZ < 0.5 nm

Resolution R < 10-6 rad

Maximum sample diameter 30 mm

No backlash or reversal play

Coarse and fine displacement in one drive

Microgripper

Gripping area (5 to 10 µm)2

Resolution 20 nm

Gripping force controlled by overdrive (µN up to mN)

Maximum span range 20 to 40 µm

Shuttle platform

Simple load-lock solutions for most SEM and FIB tools

Virtually insusceptible to vibrations